ガラスカセットの昇降装置

LCD製造装置に於て積層ガラス板を順次搬入、搬出させるガラスカセット昇降装置です。
サーボモータを使い正確にピッチ送りをします。クリーン対応も完全です。

真空チャンバーの開閉装置

PDP、LCD装置に於ける真空処理チャンバーの蓋開閉装置として独自設計しています。
片持駆動の高トルク減速機でシンプルな構造としています。
クリーン対策も完全でメンテナンスを容易にしています。